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ALD-100 原子层沉积

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ALD-100
SVT Associates

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分子束外延系统

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MBE 分子束外延,PLD 脉冲激光沉积系统,ALD 原子层沉积系统在线,温度测试系统,原位原子吸收能谱,CIGS太阳能薄膜沉积系统,Se源

SVT Associates, Inc. SVTA 由 Dr.Chow 创立, 从1993年9月7日起,SVTA从事超高真空系统及其环境下的电子材料、器件的研发生产。公司的产品有:系列的分子束外延系统MBE,激光分子束外延系统/脉冲激光沉积系统(L-MBE/PLD),原子层沉积系统(ALD);以及系列的用于晶体薄膜生长原位检测、监控仪器及EPI Wafer。年生产几十台仪器,为客户提供*的产品、技术和服务。公司总部有相关研发中心,超过十几位博士致力于MBE 及相关设备研发,设计,及制造.同时提供产品的售后服务及应用支持. 在中国的有多位专业技术人员,提供完整的售后服务,保证优质服务质量及高效快速的响应.

详细信息

The Advanced ALD system is a viscous flow-type reactor for ultra thin


 film deposition. The growth process is controlled by a Windows-based 


software package. The base model is equipped with two gas lines and 


handles wafer size up to 12 ". With a compact footprint, all hardware


 is enclosed in a negative pressure cabinet for safety more 


information.



Applications


— High k dielectrics


— Nanocoatings


— Surface modification layers


— Device encapsulations


— Photonic crystals

 

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