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瑞士VAT阀59.0 超高真空全金属可变泄漏阀
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详细信息
瑞士VAT阀59.0 超高真空全金属可变泄漏阀
适用于最小气流的高精度计量59.0 超高真空全金属可变泄漏阀可以精确控制极小的气流（1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1）。该系列阀门采用全金属设计，是满足超高真空和超高真空工艺中气体计量要求的理想选择。
59.0 系列的特殊控制功能确保可重复的精确气流设置，增强了过程控制能力。其还能在整个使用寿命内提供可靠的密封关闭，不会出现任何密封疲劳风险。
此外，59.0 系列采用全金属设计（高级不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸封），因此具有出色的抗腐蚀性和抗腐蚀性气体特性。
59.0 系列已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其可靠性。其已成为超高真空和真空应用中可变泄漏阀的标准解决方案。
59.0 超高真空全金属可变泄漏阀提供 DN为16 mm (5/8") 的角阀或内联阀，带手动驱动器，或带配有步进电机的集成式或可拆卸压力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根据烘烤过程中的情况，可以在烘烤过程中取下驱动器。标准法兰为 CF-R，固定到位。
隔膜采用“硬对硬”密封技术，阀门在整个使用寿命内可进行 40 万次控制循环和 1 万次密封关闭循环，无需任何维护，其可作为零部件使用，并且易于更换。
59.0 超高真空全金属可变泄漏阀主要特点
特点：
适用于最小气流的高精度气体计量
精确可重复的气流设置
可靠的持续密封
耐腐蚀和腐蚀性气体
优势：
在极小气流下可实现最佳压力控制
工艺可控性增强
正常运行时间长
瑞士VAT阀59.0 超高真空全金属可变泄漏阀
技术数据
尺寸 | DN 16 (⅝") | |||
|---|---|---|---|---|
驱动器 | 手动 | 方向盘 | ||
带步进电机的集成式或可拆卸压力控制器 | ||||
阀体材料 | 不锈钢 | |||
标准法兰 | CF-R | |||
密封技术 | 隔膜 | |||
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | ||
阀座 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | |||
压力范围 | 超高真空至 2bar（绝对压强） | |||
| 压差 | 打开时 | ≤ 10 bar | ||
死区 | 角阀： | 阀座侧 侧端口 | 2.7 cm3 1.1 cm3 | |
内联阀： | 阀座侧 侧端口 | 0.98 cm3 1.01 cm3 | ||
首维护前开关次数 | 20 000 | |||
烘烤温度 | 阀体 | ≤ 300 °C | ||
手动驱动器 | ≤ 300 °C | |||
带步进电机的控制器 | ≤ 50 °C | |||
加热和冷却速率 | ≤ 60 °C h-1 | |||
材料 | 阀体 | AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404) | ||
隔膜 | AISI 301 (1.4310), 镀金 | |||
安装位置 | 任何位置 | |||
阀门位置指示 | 视觉（比例） | |||
流导（分子流） | 0.05 ls-1 | |||
可调节气流 | 1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1 | |||
重量 | 带手动驱动器 | 0.94 kg / 2.07 lbs | ||
带受控步进电机 | 2.5 kg / 5.5 lbs | |||
