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F-7600 硅材料氧碳含量测试仪

型号
F-7600
杭州科博仪器有限公司

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    杭州科博仪器有限公司是目前国内较大的实验室分析仪器设备经销及技术服务商之一,是集实验室分析仪器生产、销售、应用经验的科技及管理精英创办的高科技企业。多年的实验室分析工作经历,站在分析仪器较早技术前沿,强大的分析仪器设备技术服务的支持,致力于较早实验室分析技术的研究与应用开发,研发、生产和销售适应国内外市场需求的分析仪器,并提供完善的技术支持和售后服务。

     杭州科博仪器有限公司专业经营:色谱仪、光谱仪、水份测定仪、实验室纯水机、电子天平、样品处理设备等通用分析仪器及环境监测、药品检验、粮油食品检验等行业*分析仪器、实验仪器设备等。同时,我们与广大的仪器生产厂家及*进的仪器生产商建立了良好的关系,目前我公司经销国内外品牌:日本岛津、美国安捷伦、美国Waters、瑞士梅特勒,德国赛多利斯、美国泛美、上海精科、北京普析通用、温岭福立、山东鲁南瑞虹、上海海欣、杭州科晓、中科院兰化所、大连依利特、上海尤尼可、上海博迅、上海伍丰等等。我们将对部分大型仪器和设备如GC、HPLC、AAS、超纯水系统等承担仪器的安装、调试及安装调试后的技术操作培训,让每一位使用者都能使用得心应手;售后随时解答用户在使用过程中的各种技术和应用问题,确保每一件仪器都发挥较大的效用。 同时,我们将承担大型仪器的保养、维修服务工作,确保每一件仪器的正常使用及保持Z佳的性能;在遇到问题时以Z快的速度解决。对于一般仪器及设备,我们提供一年的有限保修,并提供终身的有偿维修服务。同时我们将为每一位用户尽可能的寄送相关仪器及设备的较早技术维修及升级资料。我们设有专人为售后技术服务进行及时尽职的协调工作。

       公司专业经营及技术服务项目:

             气相色谱仪(岛津、安捷伦、上分、科晓、海欣、福立、鲁南、天美等)

            液相色谱仪(Syltech系列、岛津、安捷伦、Waters、依利特;伍丰及戴安)

            分光光度计(可见、紫外、原吸、荧光;红外等)

            色谱工作站(色谱处理机)

            色谱仪*气源(空气、氢气、氮气及一体机发生器)

            色谱柱(液相色谱柱、毛细管色谱柱、不锈钢/玻璃填充柱)色谱仪及处理机零配件、耗件及附件

           定期举办的色谱及工作站的培训班色谱仪及其它分析仪器上门维修服务

            其它经销产品:电化学仪器(酸度计、电导率仪、溶氧仪等)

          上海物理光学仪器厂:旋光仪、溶点仪、折射仪等

           其它实验室仪器(天平、水分仪、粘度计、烘箱等)

          上海博迅实验室仪器蒸馏水器、水浴、干燥箱等

详细信息

   硅单晶/多晶中氧碳含量自动测量系统的氧碳含量技术参数符合(符合国家GB/T1557-2006)(符合国家GB/T1558-2009)

        测试方法:把测量样品用硅片固定架放入仪器样品室,开始测量,计算机读取1107CM-1,SI-O-SI带特征吸收峰和607CM-1, C-SI带特征吸收峰,由峰高法计算出硅单晶中氧碳含量. 测量硅片厚度:0.04-4.0MM, 硅片检测下限:1.0X1016CM-3(常温)

 

类 别

仪 器 名 称

型 号

技 术 参 数 及 配 置

数 量

 

 

系统

 

 

 

硅单晶/多晶中氧碳含量自动测量系统及反型N/P硅外延层厚度测量系统F-7600

 

氧碳

 

1.用于硅晶体中间隙中氧、碳含量测量。检测下线1.0x1016CM-1  测量硅片厚度0.04-4.0MM(建议2.0MM厚度*)

符合国家标准(GB/T1557-2006)氧,(GB/T1558-2009)碳。

2.反型N/P硅外延层厚度的红外干涉测量。(2009年第16届全国半导体、硅材料学术会议的论文)

光谱范围:7800~375 cm-1
  
率:1 cm-1
  
器:高灵敏度DTGS检测器
  
器:多层镀膜溴化钾
  
扫描速度:微机控制和选择不同的扫描速度
  
光   源:长寿命高强度空气冷却红外光源
  
比:300001(测试条件:DTGS检测器,在4 cm-1

分辨率,一分钟背景及样品扫描时间,2100 cm-1处)                         

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

操作系统

 

 

 

系统功能

 

用户登录功能                   自我诊断功能
数据处理功能                   谱图匹配功能                               谱图解析功能                   标准报告模板                                 标准文件格式                            

 提供操作及数据处理软件,*升级软件 智能湿度提醒装置:无需开机可以更换干燥保护装置,无需开机可以调节仪器能量

 

 

 

1

 

硅片样品固定工具

 

 

1

检测软件

 

符合国家标准(GB/T1558-2009),(GB/T1557-2006

1

标准硅片

 

符合国家标准(GB/T1557-2006)标准硅片

1

 电脑及打印机

 

可通过打印机输出结果及报告

1

 

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