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YQL 高真空CVD管式炉

型号
YQL
上海勇倾实验仪器有限公司

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真空气氛管式炉的规格

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管式炉|台车炉|气氛炉|实验电阻炉|升降炉|高温井式炉|高温钟罩炉
         上海勇倾实验仪器有限公司是一家集专业生产非标环保节能实验电炉,智能马弗炉,进口马弗炉,气氛还原炉,高温井式炉可控气氛炉,真空管式炉,控制软件开发及生产于一体的专业电炉厂,尤其在高温电炉领域有着丰富的经验,并有过很多成功案例。我们*着力于改变生产和工艺存在的难题,不断学习、研发以满足客户的需要。
     改变了传统电炉设计对电网造成的干扰和损耗,在原有的基础上节约了能源。我厂通过引进*电炉设计技术、采用正规厂家生产的优质新型耐火、隔热及发热材料,从而使产品具有使用寿命长、性能可靠、高效节能、升温快控温精确度高等优点。                                                            、                                        上海勇傾公司在国内实验电炉行业中,品种Z全、规格Z多、生产实验电炉的温度Z高,品牌品质*、应用于电炉中的发明技术Z多、拥有的生产厂房规模较大、公司凭借*的科技手段、严格的质量管理体系,使“勇傾牌”产品深受广大用户的信任和支持。公司拥有进出口经营权,产品主要销往国内各大院校科研单位、高等院校、工矿企业等单位及冶金、化工、航空航天、航海、核能动力、机械、电子、轻工、橡塑、医药、玻璃、陶瓷、水泥、建材行业.*科研院所,并出口到美洲、欧洲、西亚、东南亚等国家和地区得以广泛应用并获得广大用户的青睐和好评。

                                                                      勇傾秉承“诚信、勤奋、*、创新”之企业理念,坚持不懈努力使技术更*、制造更精良,竭诚为您提供优质的产品及服务,我们愿与国内外各界宾朋共同携手、广泛合作,让我们共同进步、共同发展!

详细信息

产品型号:

YQL1200高真空CVD管式炉

产品简介:

该系统由开启式真空管式炉、多路气体混合系统、高真空系统(机械泵+分子泵)组成。主要用于产品的气氛烧结、真空烧结、镀膜、化学气相沉级(CVD)工艺等。

主要特点:

设备采用厦门宇电仪表,可全程电脑控制和设置参数、并能绘制曲线保存数据,具有安全可靠、操作简单、控温精度高(采用6组PID控制,低、中、高温都能控制在+/-1℃)、采用进口Canthal电阻丝,温差均衡,使用寿命长,保温效果好、温度范围大、可通气氛抽真空,采用620分子泵,抽气速率大,20分钟内能够抽到10-4Pa等特点。

高温炉参数:

炉管尺寸:Φ60×1000mm;Φ80×1000mm;
         Φ100×1000mm;Φ120×1000mm
加热元件:进口电阻丝(瑞典Canthal)免费保修2年
加热区长度:320mm
恒温区长度: 200mm
工作温度:≤1100℃
zui高温度:1200℃
控温方式:智能化50段可编程控制(FP93)
恒温精度:±1℃
炉门结构:开启式
工作电源:AC220V /50HZ/60HZ
额定功率: 2.5KW
外型尺寸:610 X 490 X 650  (L X W X H)

气路系统参数:

工作电压:185-245V/50HZ
工作温度:5-45℃
连接:采用聚四氟乙烯管和卡套式连接。

产品详细描述:

普通型,模拟电路,橡胶密封,管状分流,不易堵塞。

 

 

主要指标:

量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择量程)
准确度:±1.5% F.S
线性:±0.5~1.5% F.S
重复精度:±0.2% F.S
响应时间:10S
气压降:<0.01MPa
zui大压力:3MP
工作环境温度:5~45℃
输入输出信号:0~+5.00V
电源:+15V 50mA -15V 50mA
外形尺寸:158*30*110
重量:0.9 Kg

 

 

真空系统参数:

1机械泵:抽气速率:6 L/S
        机械泵型号:RVP-6
2.分子泵:抽气速率:600L/S (对空气)
        极限压强:6X10-7Pa
        使用电压频率:380±20/50
        冷却方式:水冷
3.复合真空计:ZDF-11A1复合真空计
4.高真空手动隔断阀:采用氟胶圈密封,快卸法兰接口漏率达5X10-9 Pam3/s
5.连接管路:采用全不锈钢,电抛光制作,零件焊接漏率低于1×10-9Pa.m3/s

产品证书:

  CE认证

FJ-620分子泵机组

FJ-620/FJ-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵,前级抽气泵,隔断放气阀,前级管路,断水保护器,分子泵电源,控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。

FJ-620分子泵机组技术性能:

 

产品型号

FJ-620

进气口法兰

DN160LF

DN160CF

抽气速率L/S(对空气)

600

压缩比    N2

          H2

>109

6×103

 建议启动压强

<100 Pa

极限压强(Pa)

6×10-6

6×10-7

排气口法兰

YQ25/YQ40

使用轴承

精密机械轴承

输入电压频率(V/Hz)

380±20/50

环境温度(℃)

0~40

前级泵型号

RVP-6

额定工作转数(rpm)

42,300

冷却方式

水冷

冷却水压力(MPa)

0.1-0.2

冷却水温度(℃)

<25

安装方式

任意

重量(公斤)

52

长×宽×高

730×520×700

重量

117

       
 

 

分子泵机组配件:

 

FJ620分子泵机组

1

CF150/CF35/YQ40过渡腔

1

YQ40高真空手动挡板阀

1

YQ40-1000波纹管

1

ZDF-11A1复合真空计

1

KT40/16变径三通

1

YQ40卡箍

3

YQ16卡箍

1

CF35无氧铜垫圈

1

 

 

 

YF-3三路供气(混气)系统

 

一、概述

      1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过浮子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。

     

2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与浮子流量计安装在同一面板上。

     

3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。

     

4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。

     

5. 所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。

  

二、技术参数:

 气路通道:   3

  气路流量控制:采用浮子流量计。

    接          口:   Φ6

    显          示:   刻度

    工作环境温度:  5~45℃                                                       

流量控制器:  浮子流量计 (可以根据客户的要求定,也可以采用质子流量控制器,质子流量控制器的参数请查看D007-7B)

              10-10 ml/ min   2ml/ 格

              10-100ml/min   2ml/ 格

              10-100 ml/ min   2ml/ 格

 

 

我公司经营:

 

真空管式炉,气氛保护炉,高温炉,实验电阻炉

 

 

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