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YQL 高真空CVD管式炉
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生产厂家 产品型号: | YQL1200高真空CVD管式炉 | ||||||
产品简介: | 该系统由开启式真空管式炉、多路气体混合系统、高真空系统(机械泵+分子泵)组成。主要用于产品的气氛烧结、真空烧结、镀膜、化学气相沉级(CVD)工艺等。 | ||||||
主要特点: | 设备采用厦门宇电仪表,可全程电脑控制和设置参数、并能绘制曲线保存数据,具有安全可靠、操作简单、控温精度高(采用6组PID控制,低、中、高温都能控制在+/-1℃)、采用进口Canthal电阻丝,温差均衡,使用寿命长,保温效果好、温度范围大、可通气氛抽真空,采用620分子泵,抽气速率大,20分钟内能够抽到10-4Pa等特点。 | ||||||
高温炉参数: | 炉管尺寸:Φ60×1000mm;Φ80×1000mm; | ||||||
气路系统参数: | 工作电压:185-245V/50HZ
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真空系统参数: | 1机械泵:抽气速率:6 L/S | ||||||
产品证书: | CE认证 |
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FJ-620分子泵机组
FJ-620/FJ-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵,前级抽气泵,隔断放气阀,前级管路,断水保护器,分子泵电源,控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。
FJ-620分子泵机组技术性能:
产品型号 | FJ-620 | ||
进气口法兰 | DN160LF | DN160CF | |
抽气速率L/S(对空气) | 600 | ||
压缩比 N2 H2 | >109 6×103 | ||
建议启动压强 | <100 Pa | ||
极限压强(Pa) | 6×10-6 | 6×10-7 | |
排气口法兰 | YQ25/YQ40 | ||
使用轴承 | 精密机械轴承 | ||
输入电压频率(V/Hz) | 380±20/50 | ||
环境温度(℃) | 0~40 | ||
前级泵型号 | RVP-6 | ||
额定工作转数(rpm) | 42,300 | ||
冷却方式 | 水冷 | ||
冷却水压力(MPa) | 0.1-0.2 | ||
冷却水温度(℃) | <25 | ||
安装方式 | 任意 | ||
重量(公斤) | 52 | ||
长×宽×高 | 730×520×700 | ||
重量 | 117 | ||
分子泵机组配件:
FJ620分子泵机组 | 台 | 1 |
CF150/CF35/YQ40过渡腔 | 件 | 1 |
YQ40高真空手动挡板阀 | 台 | 1 |
YQ40-1000波纹管 | 根 | 1 |
ZDF-11A1复合真空计 | 台 | 1 |
KT40/16变径三通 | 件 | 1 |
YQ40卡箍 | 套 | 3 |
YQ16卡箍 | 套 | 1 |
CF35无氧铜垫圈 | 个 | 1 |
YF-3三路供气(混气)系统
一、概述
1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过浮子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。
2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与浮子流量计安装在同一面板上。
3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。
4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。
5. 所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。
二、技术参数:
气路通道: 3
气路流量控制:采用浮子流量计。
接 口: Φ6
显 示: 刻度
工作环境温度: 5~45℃
流量控制器: 浮子流量计 (可以根据客户的要求定,也可以采用质子流量控制器,质子流量控制器的参数请查看D007-7B)
10-10 ml/ min 2ml/ 格
10-100ml/min 2ml/ 格
10-100 ml/ min 2ml/ 格