产品

MS450 多靶磁控溅射镀膜系统

EC400 有机-金属真空热蒸镀仪

PRO Line PVD 200 多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台

CMS系列 电子束蒸发镀膜设备

LAB Line 磁控溅射镀膜设备

NANO 36™ 溅射或热蒸发薄膜沉积系统

Mini SPECTROS 沉积和金属化系统

SPECTROS™ 150 有机薄膜沉积和金属化系统

Super-SPECTROS™ 200 有机薄膜沉积和金属化系统

EB900 高真空电子束蒸发薄膜沉积系统

NEXUS IBD-LDD 离子束沉积设备

PVD-BATCH DRUM 薄膜沉积PVD设备

COVAP 科瓦普物理气相沉积平台

NEXDEP AE物理气相沉积平台

Amod物理气相沉积平台

埃沃维克 EvoVac 物理气相沉积平台