求购安捷伦、英福康、岛津、爱德华、莱宝、中科科仪、上海睿米、安徽皖仪的氦质谱检漏仪
全新二手均可以。要求如下:
背景:
在真空环境镀膜和蚀刻工艺中,设备内部的真空度直接影响工艺质量和一致性。氦质谱检漏仪作为高灵敏度的泄漏检测工具,可以快速精确地发现微小泄漏,从而保障设备的正常运行和产品质量。
技术要求:
1.示踪气体:氦气(4He)
2.质谱范围
a.最小可检漏率<5x10 -12 Pa·m3;
b.最大可检漏率:1.0x10-Pa·m3;
c.测量范围:10-12~10-1Pa·m3;
3.对氦抽速>2.5L/s(进气口压力小于50Pa)
4.响应时间<0.3s
5.测试接口:NW25KF(需带1米长以上的波纹管及管箍套件)
6豉詁姵垈棰摻缩惠撳变賧琤鴆十翱附甓廷旒鯴乓手持器:不要求
7.数据下载功能:不要求
应用要求:
1.适用环境
a.相对湿度 0%~95%不冷凝
B.环境温度 -20°C~ +60°C
2.电源要求:单相220v、三相220\380v均可