CMP 浆液过滤测试
2021-08-16577大限度地提高产量需要严格控制CMP浆料的粒度分布(PSD)，可以通过过滤和PSD监测来实现。选择适当的过滤器并放置，可以在不改变主要成分的情况下减少LPC。通过将实验室和/或过程中监测与粒度计数器/分析仪相结合，可以确保高 LPC 浆料不会接触晶片表面。在本研究中，Entegris Planargard? NMB CMP 浆料过滤器检测两种浆料。使用AccuSizer液体颗粒计数器系统进行粒度分析，浆料的物理特性如图所示。
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