其他电子/电气检测

红外光谱法分析光刻胶的主成分

2024-10-25200
检测样品
光刻胶
检测项目
成分分析
应用领域
电子/电气

岛津企业管理(中国)有限公司

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方案概述
光刻胶是微电子制造的核心材料之一,具有极高的技术壁垒,其成分配方工艺对光刻产品的性能具有重大影响。本文探索建立红外光谱定性分析光刻胶主要成分的方法,通过测试烘干光刻胶溶剂前后的红外光谱图,结合标准谱库和官能团分析等手段,可获得光刻胶中主要成分信息。该法具有分析速度快、操作简单、成本低和结果可靠等优势,可作为分析光刻胶成分的手段之一。
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方案详细说明

光刻胶工艺和质量直接关系微电子制造的性能和可靠性,其主成分及杂质分析是质量控制和研发的重要内容。红外光谱仪是分析材料成分的有力工具,具有测试速度快、成本低、结果可靠等优点,可为光刻胶的成分鉴别提供重要可靠数据支撑。

 

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