拉曼+半导体4H-SiC+不同层载流子浓度
2020-08-07533在对一系列具有不同载流子浓度的EPI层和基底层构成的4H-SiC样品进行对比分析后，团队人员发现，随着探针由样品内部基底层上移至样品表面EPI层，对应的LOPC峰位出现一种趋势：先平稳不动，随后逐渐往低波数方向移动（蓝移）（如下图7所示）。我们从上述研究已经知道LOPC峰是对载流子浓度很敏感的峰，这一蓝移现象意味着：从基底层到外延层，载流子存在浓度梯度。再通过对拉曼结果的计算分析，团队人员就获得了不同层对应的载流子浓度梯度。
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