HONDA本多石英振动体超声波清洗机使用与用途
时间:2020-10-12 阅读:960
HONDA本多石英振动体超声波清洗机使用与用途
W-357BM-1200
[超声波清洗机[用于半导体行业]]
特征
- 通过数字控制可以实现稳定的振荡。
- 通过各种接口,可以根据清洁设备进行控制。
- 超声波输出可以1W为增量进行调节。
用途:
- 磁头清洁
- 硅片清洗
- 蓝宝石晶圆清洗
- 处理半导体器件后进行清洁
- 硬盘清洁
规范
振荡器
模型 | W-357BM-1200 | |
---|---|---|
振荡方式 | 单频振荡 | |
额定输出 | 1200瓦 | |
标称振荡频率 | 1兆赫 | |
电源输入 | AC200V〜240V 单相50 / 60Hz的2400VA | |
显示 | VFD(荧光显像管)16个字符x 2行 | |
国米 的脸 | 模拟量输出 | 4-20mA电流输出 |
接点输出 | 3点报警输出,振动检测输出,电源接通输出 | |
外置驱动器输入 | 2点传感器输入,远程输入 | |
RS485通讯 | MODBUS(RTU)协议 | |
外形尺寸 | 360(W)x 360(D)x 143(H)毫米 (不包括突起,包括橡胶底脚) | |
大众 | 7公斤 |
●可变输出范围:200W至1200W
●电源线长度:3m
需要高频设备许可申请通知
换能器单元
根据要求,我们还可以制造规格为2.4 kW和3.6 kW的定制振荡器单元,以及6英寸,8英寸和12英寸兼容单元。 |
F型|
8寸晶片用振动板型
模型 | W-357BM-1200F |
---|---|
振荡器型号 | W-357BM-1200 |
大允许输入 | 1200瓦 |
标称驱动频率 | 1兆赫 |
有效辐射面W x Dmm | 272x154 |
外形尺寸 WxDxHmm (不包括 接线和管道) | 355x245x68 |
材料 | 板:SUS316L表面电解抛光 |
大众 | 7公斤 |
●工作液温度范围:5到85℃
●传感器:特殊PZT
●传感器线长:5m x 2
S型|
6英寸晶圆的储罐类型x 2
模型 | W-357BM-1200S | |
---|---|---|
振荡器型号 | W-357BM-1200 | |
大允许输入 | 1200瓦 | |
标称驱动频率 | 1兆赫 | |
有效辐射面W x Dmm | 135x160 2个地方 | |
尺寸 WxDxHmm (不包括突起) | 外型 | 496x336x372 (包括橡胶脚) |
在坦克 | 442x276x252 | |
材料 | 储罐:SUS316包装:拜顿 | |
排水阀 | 1/2英寸 | |
大众 | 18公斤 |
●工作液温度范围:5到85℃
●传感器:特殊PZT
●传感器线长:5m x 2