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HONDA本多石英振动体超声波清洗机使用与用途

时间:2020-10-12      阅读:960

HONDA本多石英振动体超声波清洗机使用与用途

W-357BM-1200 

[超声波清洗机[用于半导体行业]]

 

特征

  • 通过数字控制可以实现稳定的振荡。
  • 通过各种接口,可以根据清洁设备进行控制。
  • 超声波输出可以1W为增量进行调节。

 用途:

  • 磁头清洁
  • 硅片清洗
  • 蓝宝石晶圆清洗
  • 处理半导体器件后进行清洁
  • 硬盘清洁

 

规范

 

振荡器

 

模型W-357BM-1200
振荡方式 单频振荡
额定输出 1200瓦
标称振荡频率 1兆赫
电源输入AC200V〜240V
单相50 / 60Hz的2400VA
显示VFD(荧光显像管)16个字符x 2行
国米
的脸
模拟量输出4-20mA电流输出
接点输出3点报警输出,振动检测输出,电源接通输出
外置驱动器输入2点传感器输入,远程输入
RS485通讯MODBUS(RTU)协议
外形尺寸360(W)x 360(D)x 143(H)毫米 
(不包括突起,包括橡胶底脚)
大众7公斤


●可变输出范围:200W至1200W 
●电源线长度:3m

 需要高频设备许可申请通知

换能器单元

 

根据要求,我们还可以制造规格为2.4 kW和3.6 kW的定制振荡器单元,以及6英寸,8英寸和12英寸兼容单元。



F型|

8寸晶片用振动板型     

模型W-357BM-1200F
振荡器型号W-357BM-1200
大允许输入1200瓦
标称驱动频率1兆赫
有效辐射面W x Dmm272x154
外形尺寸
WxDxHmm (不包括
接线和管道)
355x245x68
材料板:SUS316L表面电解抛光
大众7公斤

●工作液温度范围:5到85℃ 
●传感器:特殊PZT 
●传感器线长:5m x 2 

S型|

6英寸晶圆的储罐类型x 2

模型W-357BM-1200S
振荡器型号 W-357BM-1200
大允许输入1200瓦
标称驱动频率1兆赫
有效辐射面W x Dmm135x160 2个地方
尺寸 
WxDxHmm 
(不包括突起)
外型496x336x372 (包括橡胶脚)
在坦克442x276x252
材料储罐:SUS316包装:拜顿
排水阀1/2英寸
大众18公斤

●工作液温度范围:5到85℃ 
●传感器:特殊PZT 
●传感器线长:5m x 2

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