快速退火炉具有升温速度快、密封好、温度范围宽、实验方便等特点。

 

真空快速退火炉的应用领域：

 

- 离子注入/接触退火；

- 快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；

- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；

- SiAu, SiAl, SiMo合金化；

- 低介电材料；

- 晶体化，致密化；

- 太阳能电池片键合

 

快速退火炉适用于下列工作条件：

 

（1）环境温度在-10～75℃之间。

（2）周围环境的相对湿度不超过85%。

（3）炉子周围没有导电尘埃，爆炸性气体及严重破坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。

（4）没有明显的倾斜﹑振动和颠簸。