真空管式炉是在真空环境中进行加热的设备，一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。

 

真空管式炉使用简单、运行可靠、抗干扰能力强、控制稳定、调整方便、美观适用等特点。它的炉门打开时有自动断电功能，大程度了使用者的安全。整个设备与普通重质耐火炉膛相比具有炉膛蓄热小、升温快、升降温速率调节范围大、节能效果明显。

 

使用的注意事项有哪些？

 

1、在实验工作完毕以后，要关特殊气体，保留N2流动即可。真空气氛炉管要保持在standby温度，并要仔细查看其它电源是否关闭，如果没有就随手关闭。

2、在晶片进出炉口承接boat的holder的时候，尽量不要碰触管式炉的炉管口，以免炉管受到污染。

3、在没有使用到时，要将炉子的长短推杆的前端朝上放置，以免污染。

4、在使用管电炉时还要避免吸入从炉子或者是处理槽所冒出的各种气体，以便发生中毒的情况。

5、工件--工件车须经清洗干燥后方克进入炉内，防止水份、污物进入炉内。

6、各传动件发现卡位，限位不准，控制失灵等现象时，应立即排除，不要强操作，以免损坏机件。