台式扫描电镜是一种体积小巧，可安放在实验台面上操作的电子显微镜。其原理和传统扫描电子显微镜相同。部件包括:电子发射、电磁透镜、信号探测、真空系统、计算机控制系统。
 

　　台式扫描电子显微镜与传统大型扫描电子显微镜相比，台式扫描电镜具有体积小巧、操作简便、价格便宜、快速抽真空等优势，台式扫描电子显微镜分辨力能满足多数材料的显微观察。
 

　　台式扫描电镜填补光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的分辨率空白区域，可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。
 

　　随着科学研究与工业生产进入了纳米领域，人们对显微技术、显微仪器的要求越来越高，需求也日益增长。
 

　　光学显微镜价格便宜，操作简单，但由于可见光波长的限制，其放大倍数只能达到1000倍左右;传统大型扫描电子显微镜有效放大倍数可以达到数万倍，具有大景深，是当前材料科学、生物科学领域常用的表征手段之一，但其投资巨大，而且需要经过严格培训的操作人员，使用不便。
 

　　台式扫描电镜结合光学显微镜与传统扫描电镜的优点。既保留的扫描电镜较高的放大倍数和大景深，同时体积小、操作简便，价格仅为传统电镜的几分之一，逼近光学显微镜。台式扫描电子显微镜操作方便、维护简单等特点被认可。
 

　　下面让我们来了解一下台式扫描电镜的结构组成吧
 

　　真空系统:二级真空系统，一般采用机械泵加涡轮分子泵组成，电子枪部位真空度10-4Pa，样品仓真空度可达数十帕
 

　　电子枪:电子枪的作用是发射出作为电镜照明用的电子源。种类有:钨阴极电子枪、氧化物阴极、硼化物阴极(六硼化镧应用多)、场发射阴极
 

　　电磁透镜:电场和磁场都可以使电子束发生偏转，从而使电子束产生汇聚和发散
 

　　探测器:背散射电子探测器或二次电子探测器