台式扫描电镜是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，系统*嵌入在电镜主机中，利用半导体制冷，无需额外冷却系统，采用低真空技术，出射电子与空气分子碰撞产生正离子，正离子与样品表面累积的 电子中和，有效抑制荷电效应的产生，直接观测各种不导电样品。
 

　　台式扫描电镜利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右，而且不会影响灯丝寿命，环境适应性高，*防震，可以放置在几乎所有的室内环境当中，无需超净间，采用灯丝、探测器、样品 台相对一体化的设计，震动不会引起三者间的相对运动，使成像不受震动影响，可放置在较高楼层。
 

　　台式扫描电镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统，以下提到扫描电子显微镜之处，均用SEM代替。 台式扫描电镜是一种大型精密仪器，它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。
 

　　台式扫描电镜真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分，真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵用来在真空柱内产生真空。
 

　　有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置真空要 求，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。
 

　　台式扫描电镜成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为密封室，用于放置样品。
 

　　之所以要用真空，主要基于以下两点原因：台式扫描电镜电子束系统中的灯丝 在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。