随着现代科技的发展，扫描电镜及其组合分析功能相继出现，如微热台和冷台系统，主要用于观察和分析材料在加热过程中微观结构的变化和冷冻;平台系统主要用于观察和分析受力过程中发生的微观结构变化。
 

　　扫描电镜结合其他设备的新分析功能，在新材料、新工艺的探索和研究中发挥着重要作用。那么台式扫描电子显微镜的工作原理是怎样的呢?接下来就带大家了解一下台式扫描电子显微镜的工作原理。
 

　　台式扫描电子显微镜是由电子枪发出的电子束经过栅极静电聚焦后成为直径50微米的点光源，然后在加速电压作用下，经两三个透镜组成的电子光学系统，电子束被会聚成几十埃大小聚焦到样品表面。
 

　　在末级透镜上有扫描线圈，它的功能是使电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与试样物质的相互作用，产生各种信号(二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等)，这些信号被相应的接收器接收，经放大器放大处理后经过运算电路处理，呈现在显示屏上。
 

　　由于扫描线圈的电流与运算电路的相应偏转电流同步，因此试样表面任意点的发射信号与显示屏上的亮度一一对应。也就是说，电子束打到试样上一点时，在显示屏上就出现一个亮点。
 

　　而我们所要观察的试样在一定区域的特征，则是采用台式扫描电子显微镜的逐点成像分解法显示出来的。试样表面由于形貌不同，对应于许多不相同的单元(称为像元)，它们在电子束轰击后，能发出二次电子、背散射电子等信号，依次从各像元检出信号，再一一传送出去。
 

　　传送的顺序是从左上方开始到右下方，依次一行一行地传送像元，直至传送完一幅或一帧图像。采用这种图像分解法，就可以用一套线路传送整个试样表面的不同信息。
 

　　为了按照规定的顺序检测和传送各像元处的信息，就要把聚得很细的电子束在试样表面做逐点逐行的运动，也就是光栅状扫描。