一、前言

近几年来，随着高科技的发展，薄膜技术已成为一门综合性的应用科学。本文介绍了制备薄膜的液相法——浸渍法的原理。

在这个高度信息化的社会，各种技术当中薄膜技术发挥着非常重要的作用。

二、分类

形成薄膜的技术通常分为两类，一类是气相法，另一类是液相法。

1、气相法

气相法虽能生成均一且致密的薄膜，但是由于使用真空装置，所以设备成本昂贵。而液相法非常简便，所以近些年，在金属、半导体等领域。

2、液相法

液相法作为一个廉价、节能的新型薄膜形成技术备受青睐。液相法根据涂布方法分为旋涂法（spin coating）浸渍法（dip coating）和喷涂法（spray coating）等。

①　旋涂法是在高速旋转的基板上滴下被涂液,根据向心力形成均匀薄膜的方法。它通过基板旋转数与涂布液的浓度控制薄膜的厚度，但是很难实现在大面积基板上的涂布。

②　喷涂法是将涂布液喷在基板上，它可以进行连续涂布，但是不容易做到涂敷均匀。

③　和这些方法比较，浸渍法是将基板浸渍在涂布液中，然后以一定的速度将其提拉使其表面上形成薄膜的方法，此法非常简便，而且根据涂布液粘度及提拉速度来控制薄膜厚度，从而解决了上述方法中不能大面积均匀涂布的问题。

三、原理

浸渍法是指如下图所示，将基板浸渍在涂布液中，以一定的速度向上提拉，然后将附着在基板上的液膜干燥使其成膜的方法上。

▲注意事项：

• 在这里提拉是重要的过程。基板可以垂直，也可与液面成一定角度。
• 提拉速度过快，薄膜会变得很厚，易产生液滴，严重时薄膜会白浊。
• 相反，如果提拉速度太慢,由于溶剂的挥发，会产生线状条纹。
• 所以，利用浸渍法制备薄膜时一定要注意保持液面平稳，要以适当的速度均匀地操作。