LAUDA-Noah POU

热电的工艺恒温控制器，专为半导体行业度身定制，温度范围从 –20 到 90 °C

基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，LAUDA-Noah POU热电的温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制。对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得POU能够应用于所有类型的刻蚀工艺。

高效节能，节省空间，同时还能够稳定的控制温度，这种智能系统能够完美的提高wafer to wafer的均匀性。