电子背散射衍射，即EBSD技术可以用来确定晶体取向、鉴别相、表征晶界和应变等，是XRD和TEM技术在晶体结构和取向分析方面的有效补充。经过技术的累积和发展，如今，先进的EBSD探测器、数据采集和分析方法和软件使得这一领域的分析在材料学研究中应用越来越广泛。

EBSD衍射花样采集自样品表层数十纳米的范围，要求在此区域没有残余应变（即损伤层）、氧化和外来污染。因此，EBSD分析时所获菊池花样质量的高低，很大程度上取决于在样品制备过程中，晶体变形损伤的去除情况。如此高的制样要求，使得EBSD分析样品的制备质量、效率及成本始终是困扰相关科研人员的一个问题。目前主流的EBSD制样技术包括机械抛光、电解抛光和离子束抛光等。

此外，在二维EBSD分析技术应用日益普遍的背景下，可以更为完整地描述晶粒、表征界面和深入研究塑性应变的三维EBSD分析技术也开始崭露头角，而其中带来的样品制备挑战则更加凸显。

本期网络讲堂，我们将邀请布鲁克纳米分析应用科学专家和我们QATM的应用专家一起，给大家带来完整专业的EBSD分析和制样专题，即包含先进的EBSD及相关表征技术和应用技巧，也包括如何采用机械抛光和电解抛光方法高效制备EBSD样品的技术细节；同时，也将涉及目前先进的大体积材料三维EBSD分析样品的制备方案。我们希望这些干货满满的技术分享可以解答您关于EBSD分析和制样的一些困惑，助力您的材料研究和工作更加顺利！