高分辨率飞秒激光直接光刻微加工系统在中国科技大学安装

孚光精仪高分辨率飞秒激光直接光刻微加工系统日前在中国科技大学中科院量子信息重点实验室安装成功,成为代表我公司飞秒激光微加工光刻机装备和服务水平的又一力作.

这套高分辨率飞秒激光直接光刻微加工系统具有当今上飞秒激光直写光刻微加工的水平,为中国科技大学科学研究提供可靠保障,可广泛用于紫外飞秒微加工,飞秒微纳加工和飞秒精细加工的各种应用.
这套高分辨率飞秒激光直接光刻微加工系统有全自动化控制加工功能,自动样品纳米级定位系统，自动调整激光偏振和激光能量调整功能，真正实现了省心，操作，非常适合激光微纳加工的探索研究。
紫外飞秒激光与物质的相互作用是jianduan的课题，紫外光具有更高的光子能量，对材料的微纳加工更具优势，紫外波段超快激光与物质的相互作用值得探索，然而紫外飞秒激光的稳定应用相比于基频光更为困难，这一难题在孚光精仪欧洲中心突破后，实现媲美基频光的稳定性和可靠性，并发射出适合科学研究的激光能量。