有Felles Photonic公司引进的超高精度红外显微镜日前在无锡微电子产业园安装成功。这套红外显微镜使用7-14微米的PbSe探测器作为热源探测器，提供高达10微米分辨率的热成像和红外成像。该红外显微镜可用于探测热点和缺陷 电子元件和电路板故障诊断 测量结温 甄别芯片键合缺陷 测量热阻封装 确立热设计规则 。

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整套红外显微镜可给出材料的发射系数，能够有效测量准确温度数值和温度分布，对于微电子器件的热分布研究提供精密的测量。

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