INFICON真空计开关功能及setpoint的设置方法（一）

以PSG500-S和PSG502-S为例。

设点（setpoint）功能在2E-3mbar到500mbar（电压范围为2.67到9.61VDC）的压强范围内是可调节的。每个开关功能提供一个浮动的继电器触点。见下图：

继电器功能的状态指示灯：

调整设点（setpoint）的方法：

1）用针尖（max ∮1.1毫米）按下<SP1>键持续约5秒，此时，规管切换至开关功能模式，在测量值上输出当前下阈值。当按键持续超过5秒时，阈值设置被修改直到释放按键，或者到达设置范围的极限。

备注：上阈值（回压限）高于下阈值的10%，也称为迟滞延时。

2）当再次按下5秒内，阈值设置会变为反向调节。

3）释放按键。5秒后规管重新开始工作，连接的控制器显示当前测量值。

注意事项：如果通过信号输出来调整设点，必须要知道当按下<SP>键时，测量信号将被抑制，取而代之的是输出相应的阈值，这可能会导致工艺故障。因此，仅在您确定不会因此导致出现危害的前提下按下<SP>键。

如果是带数字通讯（如RS232C）的真空计，如inficon的PSG550,PCG550以及CDG系列里，还可以通过T-gauge软件进行设置。

作者:王建峰