(1)型号规格：ENC -654

• 测量范围：X=500mm，Y=600mm，Z=400mm
• 空间测量示值误差：E≤3.5+L/250µm
• 分辨率：0.5µm
• 大移动速度：430mm/s
• 大承受重量：300kg
• 主机重量：550kg
• 主机外型尺寸：1020mm×946mm×2200mm 

( 2）*控制系统

3）精密过滤器