1、无刷电机驱动。

2、氮气温度控制。

3、转轴氮气密封。

4、可提用户特殊要求配置。

5、去离子水电阻率监控功能。

6、故障诊断、显示、报警功能。

7、硅片甩干机具有锁盖防护功能。

8、腔体和转架采用316不锈钢，电化学抛光处理。

9、彩色液晶触摸屏实时监控，可存储多种工艺菜单。

10、硅片甩干机主要应用于太阳能电池和半导体硅片等的冲洗甩干工艺环节，具有容量大、效率高的特点。