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NXQ4006光刻机在操作中应该要注意这样要点

时间:2015-09-28      阅读:3196

   NXQ4006光刻机在操作中应该要注意以下几点:
  
  1、进入机仓检查或维修必须切断电源,挂上警示牌并与中控。
  2、检修或检查时必须使用36V以下照明。
  
  3、必须经常监视机器运转情况,如听任何不正常声音,应立即停机检查,查明原因并处理完故障后,方可重新起动。
  4、正常运转中,应特别注意电机和转子的温度变化,保证充足的油润滑、水冷却,超过规定值立即停机检查。
  5、运行时,不准打开观察孔,以防物料飞出伤人。
  
  6、每周应检查一次转子卡箍螺栓的松紧情况。
  7、每天开机前应检查衬板螺丝是否松动并紧固。
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