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超平硅片（基底材料）
超平硅片（基底材料），常作为AFM基地片用在科学研究中。超平，直径有100mm、150mm、200mm三种规格可选。
的一些参数如下：
| 4" | 6" | 8" |
直径 | 100 mm | 150 mm | 200 mm |
向性 | <100> | <100> | <100> |
级别 | P/Boron | P/Boron | P/Boron |
Growth Method: | CZ | CZ | CZ |
电阻率 | 10-20 Ohm-cm | 10-20 Ohm-cm | 10-20 Ohm-cm |
厚度 | 525µm ±20µm | 675µm ±20µm | 725µm ±20µm |
TTV: | <4.00µm | <4.00µm | <4.00µm |
SFPD: | <2.0µm | <2.0µm | <2.0µm |
Warp: | ≤30µm | ≤30µm | ≤30µm |
Bow: | ≤30µm | ≤30µm | ≤30µm |
微粒数 | ≤20@≥0.3µm | ≤20@≥0.3µm | ≤20@≥0.3µm |
正面Front Surface | Polished | Polished | Polished |
背面Back Surface | Etched | Etched | Etched |
平整度Flat: | 2 per SEMI Standard | 1 per SEMI Standard | 2 per SEMI Standard |
Site Flatness: | <2.0µm | <2.0µm | <2.0µm |
粗糙Roughness | Typically 2-3Å | Typically 2-3Å | Typically 2-3Å |
销售信息：
货号 | 产品名称 | 规格 |
71893-01 | Ultra-Flat Silicon Wafer, 4" | 1片 |
71893-02 | Ultra-Flat Silicon Wafer, 6" | 1片 |
71893-03 | Ultra-Flat Silicon Wafer, 8" | 1片 |
