X射线分析

　　有几种类型的分析X射线系统，例如X射线荧光(XRF)、X射线衍射(XRD)、XAFS、XPS(ESCA)、SAXS和EPMA。X射线荧光光谱仪(XRF)包括能量色散X射线分析(EDX)和波长色散X射线分析(WDX)，用于将X射线照射在样品上以确定构成样品的元素和他们的内容。不同的元素具有不同波长的X射线，因此当用X射线照射样品时，返回具有不同波长（能量）的X射线。

　　在波长色散X射线分析中，不同波长的X射线会改变衍射角，因此当X射线照射到光谱晶体上时，它们会被波长解析。将样品反射回来的荧光X射线注入单色器晶体进行光谱分析，就像可见光被棱镜分光一样，每个波长的X射线强度由检测器测量。在能量色散X射线分析中，半导体检测器接收荧光X射线，并对信号进行处理以测量每个波长的X射线强度。这两种方法都使用X射线管，需要灯丝电源产生热电子和X射线加速电压电源。

　　产生X射线的方法有很多种，包括阳极接地和阴极接地两种；阴极接地的X射线通常用于XRF，阳极接地的X射线用于XRD。与无损检测X射线不同，分析型X射线不需要太多加速电压。因此，电压可以达到60 kV，但可能需要光强度（亮度）。在这种情况下，使用了几千瓦的X射线管，并通过水冷来防止管子过热。内置于设备中的检测器可能还需要几百伏到几千伏的电源系统。

　　主要应用：

　　X射线荧光光谱仪(XRF)，X射线衍射仪（XRD），能量色散X射线分析(EDX)，波长色散X射线分析(WDX)，灯丝电源，加速电压。