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液体颗粒计数器检测电子级强酸强碱

时间:2024-03-28      阅读:1162

1、单酸碱:硫酸、氨水、双氧水、磷酸、硝酸、盐酸、冰醋酸、氢氧化钾、氢氧化钠等。

2、作用:电子级强酸强碱多应用于半导体制造过程中对零部件的腐蚀和清洗,表面处理中。

3、SEMI等级标准:电子化学品的判定通常采用电子化学品SEMI国际标准等级表

                    电子化学品SEMI国际标准等级表

SEMI等级

IC线宽

金属杂质

控制粒径

颗粒(个/mL)

C1

1.2

≤1000(1ppm)

≤1.0

≤25

C7

0.8~1.2

≤10(10ppb)

≤0.5

≤25

C8

0.2~0.6

≤1.0(1ppb)

≤0.5

≤3

C12

0.09~0.2

≤0.1(0.1ppb)

≤0.2



4、判定仪器和液样:

使用仪器:PMT-2 液体颗粒计数器,防腐型,检测范围0.1-1.0um,检测粒径0.1、0.2、0.5、1.0um。

液样:硫酸、氢氧化钠

5、检测结论:

看检测结果里的积分值,看≥0.1的粒子数量,≥0.2的粒子数量,≥0.5的粒子数量。参照数量的个数来判定所测样品达到那个级别的。

应用:化学品生产商一般在实验室使用离线取样检测的方式。抽取产线上数个液样,按照批次来进行检测。反应所生产液样的工艺是否达标。

6、注意事项:

确保仪器的准确性:在使用前应对仪器进行校准,以确保检测结果的准确性。
避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的颗粒进入检测液样;在百级清洁环境里进行检测,避免空气中的大颗粒进入检测液样。


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