红外光谱仪利用物质对不同波长的红外辐射的吸收特性，进行分子结构和化学组成的分析。红外光谱仪通常由光源，单色器，探测器和计算机处理信息系统组成。根据分光装置的不同，分为色散型和干涉型。由于色散型很少使用，目前广泛使用的是干涉型的傅里叶变换红外光谱仪。

　　傅里叶红外光谱仪的成膜技术中重要的两个问题分别是薄膜厚度不均匀和溶剂残留。薄膜的厚度不均将导致谱图的非线性。而在薄膜技术中应该时刻注意溶剂残留的问题。如果结果显示有溶剂残留，有时可通过继续加热来去除溶剂。如不能确定某个特征峰是溶剂还是样品产生，那样品必须用另一种方法检测或使用另一种不会产生该特征峰的溶剂。

　　另一个可能产生的问题是某些样品在加热和有氧气的情况下易发生氧化。有几种方法可以防止或减小这种氧化。在惰性气氛中蒸发溶剂，比如在氮气中，这样可以减少氧气的存在。或是减少加热量来化小这个问题。有条件的话，可以使用更低沸点的溶剂，或用真空泵来抽取溶剂。