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SGC-1A 椭圆偏振测厚仪
港东科技 品牌
生产厂家厂商性质
天津市所在地
天津港东科技股份有限公司
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技术指标:
编号
名称
参数
1
测量范围
1nm-300nm
2
测量zui小值
≤1nm
3
入射角
30°~90°误差≤0.1°
4
偏振器方位角读数范围
0°~180°
5
度盘刻度
每格2度
6
游标zui小读数
0.05°
7
光学中心高度
152mm
8
工作台直径
φ70mm
9
外形尺寸
730mm×230mm×290mm
10
主机重量
20kg
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