强大的软件功能：

界面友好，操作简便，用户点击几下鼠标就可以完成测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数据数据处理功能强大，可同时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据。材料库中包含了大量常规的材的光学常数数据。用户可以非常方便地自行扩充材料数据库。

产品功能适用性：

该仪器适用于多种介质，半导体，薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。

典型的薄膜材料为：

SiO2、CaF2、MgF2、光刻胶、多晶硅、非晶硅、SiNx、TiO2、聚酰亚胺、高分子膜。

典型的基底材料为：

SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、铝丙烯酸、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

仪器具有开放性设计，仪器的光纤探头可很方便地取出，通过仪器附带的光纤适配器（如图所示）连接到带C-mount的显微镜（显微镜需另配），就可以使本测量仪适用于微区（>10μm，与显微镜放大率有关）薄膜厚度的测量。

技术指标：