电容薄膜真空计具有测量精密度高、测量线性度好、计量可重复性好，而且测量与气体成分无关等杰出的优点，所以自从它问世以来，受到了计量科学界的高度重视，一百多年以来，一代又一代性能更*的不断涌现，技术日臻完善，应用迅速扩展，尤其显著的是，过去以汞金属（水银）为标准器的各级真空压力标准已逐步为精密而可靠的高精度的薄膜真空计所取代，工业自动控制系统中的高精度压力传感器、真空传感器才有了真正实用的精密在线测控系统，才有了现在的化工、医药、新能源，新材料、半导体、微电子、核能科学、等等现代工业技术的新发展。

但是， 其最大的缺点是价格昂贵、结构娇贵、使用环境要求高，尤其是进口品牌的真空规，在许多环境条件苛刻的情况下不能正常使用，这些对于我们国产高精度薄膜真空计提出了新的挑战；因此也产生了一个新的薄膜真空计的全新产品系列：高精度特型电容薄膜真空计系列。

高精度特型电容薄膜真空计系列，目前已研制成功并投入使用的主要型号类型有：高温型、低温型、抗腐蚀型、防爆型（Exia。。。）、工业防护型（IP68）、太空环境型（绝对真空度）、微功耗型、无电磁辐射型（无源 真空计）等十多个专项，将在本栏目陆续详细介绍并广泛征求客户意见，欢迎大家关注国产薄膜真空计，大力支持国产薄膜真空计。

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本集先从电容薄膜真空计的基本原理开始叙述：

隔膜材料通常使用厚度为几十微米的因科内尔铬镍铁合金(Inconel)。为避免腐蚀气体的腐蚀，也有使用陶瓷隔膜的产品，但是一般来说其灵敏度、测量分辨率往往会受到一定的限制，