故障现象：主轴转动和指示正常，真空系统工作和指示也正常，但温度指示不对，自动控制失灵，开机后，制冷系统还未工作，而温度指示却为零下2O℃，实际上，腔内温度是正常室温。 湿度传感器探头 , 不锈钢电热管 PT100 传感器 , 铸铝加热器 , 加热圈   流体电磁阀 

　　分析：从故障表现可知，应属温度传感和指示系统的问题。为找到故障部位，根据实物，绘制了温度传感和指示部分的电气原理图(该仪器未给电气原理图)，从图分析，故障大约发生在运算放大器uA-741、指示表头或离心机腔内的温度传感器(热敏电阻)三个部分上。经逐项检查，发现热敏电阻R断路，其阻值呈现无穷大，由于它是负温度系数，阻值越大，指示温度越低。

　　修理：该热敏电阻采用塑压工艺法密封在一个塑料探头里，热敏电阻位于探头顶部，两根引线一根由中心引出，另一根是裸铜线，塑压在塑料里。用一只好的探头更换，马上可以把故障排除，我们采取了自制方法，解决了这一问题。

　　借用其他单位同型号离心机的热敏电阻，测出它的典型温度-电阻特性曲线，按此选了西安无线22厂生产的MF型热敏电阻，经筛选，选出基本符台该特性曲线的热敏电阻，借助标准电阻箱进行调整，经过反复调整，把热敏电阻接入电路中，再用温度计校核，相差在l-2℃以内即可。