薄膜电容检测器的检测气室内充填有待测组分气体。选择性好的仪表一般是分析什么气体，则检测室中就充填什么气体。但有的时候，仪表要分析腐蚀性强的气体，考虑到材料的原因，检测器气室中就不可能充填这种带强腐蚀性的气体，只能选择一种与待测组分特征吸收波长相近的气体，这样，仪表的选择性就会差一点。充填气体的浓度则要根据具体情况来定，对于吸收红外线能力很强的CO2、CO等气体，充填气只要含10%-18%的CO2、CO就可以了，其余的气体则是Ar或N2，最好充填Ar，因为Ar的热容量小，升高到相同温度，Ar所需要的的热量少。不能充纯气体，因为纯气体的浓度太高时，辐射来的红外线在靠近窗口处会被吸收掉，不能再深入到检测器气室的深处，这样部分热量就在窗口附近传出损失掉，这就会影响仪表的灵敏度。充填气体中待测组分浓度的大小，应以使红外线辐射到达检测器气室底部时刚好被吸收掉，这样最为理想。检测器气室中充填待测组分浓度的大小，还得根据检测器气室的大小以及被测气体的情况，一般都是由实验来确定。为了确保薄膜电容器的选择性充填气体中的杂质越少越好。