在分析被测滤膜上的残留物颗粒时，滤膜上金属颗粒的表面局部单个或多个位置呈现反光，普通明场扫描不能准确判断颗粒的大小及数量。

金属颗粒: 

偏光扫描解决在明场中单个金属颗粒表面多个位置反光造成的数量统计不准确。

显微镜使用的光源，其出射光经过线性偏振后再照射到滤膜表面。通过偏振光物理原理应用来识别、对比颗粒在不同偏振光下的图片，而后鉴别出金属和非金属颗粒。

偏光扫描：2次扫描，过程全自动偏光，偏光扫描统计所有颗粒数量及测量尺寸，再明场扫描定性颗粒性质（金属or非金属），减少误判。

明场扫描：1次扫描，一个大金属颗粒被分解成数个金属颗粒及非金属颗粒，尺寸和颗粒的数量。统计不准确。