Chroma/致茂 品牌
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中国台湾Chroma Model 7935 晶圆检测系统 Chroma 7935晶圆检测机为切割后自动化晶粒检测机,使用*进的打光技术,可以清楚的辨识晶粒的外观瑕疵。 结合不同的光源角度、亮度及取像模式,使得 7935可以适用于LED、雷射二极体及影像感测器等产业。 7935同时也提供了自动 对焦与翘曲补偿功能,以克服晶圆薄膜的翘曲与载盘的水平问题。 7935可配置不 同倍率之物镜,使用者可依晶粒或瑕疵尺寸选择适当的检测倍率。 系统搭配的 小解析度为0.35um,一般来说,可以检测1um左右的瑕疵尺寸。
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中国台湾Chroma Model 7935 晶圆检测系统主要产品特点
1、大可检测8" 晶圆 (检测区域达10" 范围 )
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中国台湾Chroma Model 7935 晶圆检测系统 主要技术参数