产品简介
HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
详细介绍
HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
技术参数
特征 
(点击图片查看详细资料） | - 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作
- 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布
- 磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命
- 标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配
- 安装是采用标准真空接头，便于操作
- 更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度
|
所需功率 | - DC（zui大）1000W
- RF（zui大）500W
|
zui大溅射电流 | 3A |
溅射电压 | 100-1000 V |
溅射时腔体真空度 | 5-100 mTorr |
溅射均匀性曲线图 | 
|
尺寸 | |
靶材 | - 直径: 2.0英寸(50.8mm)
- 厚度: 对于非磁性靶材，zui大厚度为1/4英寸
对于磁性靶材，zui大厚度为1/16英寸 - 靶材利用率：30%
- 磁铁:NdFeB 稀土磁铁
|
需要冷却水 | - 流速: 0.8 GPM
- 进水温度:<20 ℃
- 水管:0.25" OD.
|
可选配件 | - 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头
- 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
  - 循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
|
质保 | 一年质保期，终生维护 |
