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中美合资合肥科晶材料技术有限公司
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货物所在地:安徽合肥市
更新时间:2024-04-25 21:00:06
浏览次数:478
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产品简介详细介绍
EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。
技术参数
主要特点
EQ-TM106-1监测组件
EQ-TM106-2显示仪
EQ-TM106-3探头
标准配件
1
1个
2
1台
3
质保期
一年质保期,终身维护
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