系统设备管道防腐处理 
臭氧气体具有很强的腐蚀性，在潮湿情况下腐蚀性很强。因此，臭氧发生设备输送臭氧的管道阀门及接触反应设备均采取防腐措施。如使用碳钢材料必须涂防腐涂层。使用不锈钢管，玻璃钢管，ABS、PVC、PP-R 塑料管等。接触池在使用钢筋混凝土材料时应加防腐涂层。一般橡胶不耐臭氧氧化，所以臭氧发生设备间的电线，电缆等均不能使用橡胶包裹的电线，应使用塑料电线。

设置通风排气设备 
臭氧具有毒性，空气中臭氧浓度达到 0.1mg/m3 时就对人的眼睛、鼻、喉及呼吸道产生刺激作用在 0.01-0.02mg /m3 时可闻到臭味；因此在臭氧设备间应设置通风设备，万一发生泄漏可及时排出臭氧。臭氧比空气重，通风机应安装在靠近地面处。
臭氧输送管道及臭氧设备必须密闭，防止泄漏。 在设备运行之前应检查是否漏气，运行中一旦发生泄漏应立即关掉臭氧发生器电源，打开排风扇排出臭氧，再进行检修。 
臭氧发生器为高压放电设备，应设置接地装置，接地电阻应小于4 欧姆。操作应严格按照设备使用说明书及有关电器使用要求进行。 
必须设置尾气处理或尾气回收装置，反应后排出的臭氧尾气必须经过分解破坏或回收利用，达到排放标准，否则将污染大气。