在整个纯净水工艺系统中，用臭氧杀菌是很有益的，经臭氧处理后的纯净水在灌装时还余留部分臭氧量，继续对瓶里盖上的细菌进行杀灭，并且在分解后它惟一的剩余物质是易溶的氧。

　　用臭氧氧化处理废水所使用的是含低浓度臭氧的空气或氧气。主要的工艺设施由臭氧发生器和气水接触设备组成。臭氧氧化法主要用于水的消毒、去除水中、氰等污染物质，水的脱色、除去水中铁、锰等金属离子，除异味和臭味等。

　　1、水的消毒：

　　臭氧是一种广谱速效杀菌剂，对各种致病菌及抵抗力较强的芽孢、病毒等都有比氯更好的杀灭效果。水经过臭氧消毒后，水的浊度、色度等物理、化学性状都有明显改善。化学需氧量(COD)一般能减少50～70%。用臭氧氧化处理法还可以去除苯并(a)芘等致癌物质。

　　2、去除水中酚、氰等污染物质：

　　用臭氧法处理含酚、氰废水实际需要的臭氧量和反应速度，与水中所含硫化物等污染物的量和水的pH值有关，因此应进行必要的预处理。把水中的酚氧化成为二氧化碳和水，臭氧需要量在理论上是酚含量的7.14倍。臭氧氧化法通常是与活性污泥法联合使用，先用活性污泥法去除大部分酚、氰等污染物，然后用臭氧氧化法处理。此外，臭氧还可分解废水中的烷基苯磺酸钠(ABS)、蛋白质、氨基酸、有机胺、木质素、腐殖质、杂环状化合物及链式不饱和化合物等污染物。

　　3、水的脱色：

　　印染、染料废水可用臭氧氧化法脱色。这类废水中往往含有重氮、偶氮或带苯环的环状化合物等发色基团，臭氧氧化能使染料发色基团的双价键断裂，同时破坏构成发色基团的苯、萘、蒽等环状化合物，从而使废水脱色。臭氧对亲水性染料脱色速度快、效果好，但对疏水性染料脱色速度慢、效果较差。含亲水性染料的废水，一般用臭氧20～50毫克/升，处理10～30分钟，可达到95%以上的脱色效果。

　　4、除去水中铁、锰等金属离子：

　　铁、锰等金属离子，通过臭氧氧化，可成为金属氧化物而从水中离析出来。理论上臭氧耗量是铁离子含量的0.43倍，是锰离子含量的0.87倍。

　　5、除异味和臭味：

　　地面水和工业循环用水中异味和臭味，是放线菌、霉菌和水藻的分解产物及醇、酚、苯等污染物产生的。臭氧可氧化分解这些污染物，消除使人厌恶的异味和臭味。同时，臭氧可用于污水处理厂和污泥、垃圾处理厂的除臭。

　　6、提高废水B/C

　　对于一些含有复杂有机物的难以生化处理的废水，可以利用臭氧的氧化性将复杂有机物分解为具有一定可生化性的简单有机物，然后再进行生化处理，一般用于某些化工废水的前端预处理。