要想解决实验室灰尘问题，首先必须保证ICP光谱仪室的外墙和天花板不要用一般的水泥和涂料粉刷，应采用不易产生粉尘的防火防潮板材来装修，地面应该磨成水墨地面，以减少室外灰尘的侵入，方便室内灰尘的清扫;在门窗外面增加一层孔径比较小的纱窗(门)可以吸附室外灰尘，也可以在室内悬挂窗帘，同时也是仪器避光的需要，也可以安装双层门窗;排风系统应该独立设计、独立使用;禁止其他分析仪器进入ICP光谱仪室，尤其是容易产生灰尘的仪器应该远离ICP光谱仪室。

    如果含尘量室内太高也可以用空气过滤器或其他除尘装置解决。对于仪器外部除尘比如感应线圈、稳压电源外部接头、计算机、显示器、打印机、磁盘驱动器等应该定期拆卸或打开，用小毛刷清扫，并使用吸尘器将各个部分的积灰吸除或者用氩气吹扫;对于电源线及其接头还可以用纱布或脱脂棉球粘上少许无水乙醇小心地抹除积炭和灰尘，清扫完毕后对仪器机械部分滴加少许仪表油，比如蠕动泵轴承、滚珠。仪器内部除尘，比如电子控制电路高频发生器，功率管和高压变压器等，应该请生产厂家或本单位专业人员处理。

    操作者如不动电子知识，不了解仪器结构禁止操作，除尘时必须停机并光掉所有电源，以防出现人身伤亡事故;如果仪器长期不用或者在放假期间应用防尘罩(防止静电)遮住避免灰尘进入仪器内外;

    另外，为了避免外来人员进入ICP光谱仪室将灰尘带入室内，还需要严格的管理制度，比如进出光室人员必须穿工作服换拖鞋入内，禁止在ICP光谱仪室内吸烟和吃食物(特别是带壳的食物);操作者还可以通过勤拖底板，勤搞卫生，进房间拖鞋等措施来减少空气中的含尘量。一旦仪器设备上沾有灰尘时，要立即根据元件特点采取不同的方式除尘。