测量型金相显微镜

产品用途

    测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

产品特点

● X、Y、Z轴0.5μm分辨率；
● 可选配白光纳米检测模组；
● Z轴粗调/微调旋钮；
● 同轴表面光/底光测量；
● 内建偏光量测光学模块；
● 可量测透明材质纳米级高度差

规格型号

MTM-1510M

MTM-2010M

工作行程X、Y、Z轴

150*100*120（mm）

200*100*120（mm）

金属台尺寸

210*160（mm）

260*160（mm）

玻璃台尺寸

354*228（mm）

404*228（mm）

光学尺分辨率

0.5μm

示值误差

X、Y坐标≤（3+L/75）μm （L为测量长度，单位mm）

影像系统

彩色1/2"CCD摄像机；640*480像素；结合测量软件

显微镜系统

目镜：10倍

滤光片：红，蓝，绿，白

测量模式：反射，透射，偏光

5孔物镜转换器

物镜放大倍率误差

包括畸变在内的放大率误差≤0.008%

总放大倍数

50X——500X

照明系统

透射照明光源：白光LED，亮度可调

同轴照明光源：卤素灯，亮度可调

物镜

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距离（mm）

26.1

20.2

8.8

3.68

高度量测模块（选配件）   

光干涉高度量测模块（M10-CA），高度量测分辨力0.5μm（选配）

倍率：10X，工作距离5mm，光学分辨力2μm

其它参数

外形尺寸（mm）

590*560*850

仪器重量（kg）

100

110

电源功耗

110V—220V 50/60Hz <60W