ATOS电磁阀振动是阀门运行中较难处理的故障之一。振动不仅加速调节阀的损坏，也对产品质量和安全生产造成影响。本文结合智能定位器的研究，给出现场处理振动问题的注意事项和方法。
    执行机构漏气
    ATOS电磁阀由于漏气使实际阀位偏离给定阀位，造成伺服放大器反复充气，使阀门不能稳定在给定阀位，造成阀门振动。
    ATOS电磁阀气动薄膜执行机构
    气动薄膜执行机构的膜片破损，推杆与弹簧托盘松动，O形圈破损，反作用执行机构推杆与下膜盖之间的密封漏气，通常为V形密封圈磨损，顶装手轮机构上膜盖密封漏气。
    （2）直行程气缸执行机构
    直行程气缸执行机构（包含用于拨叉式角行程执行机构）的活塞密封圈漏气（窜缸漏气），活塞缸盖密封漏气，限位螺钉密封组件漏气，输出轴与缸盖间密封漏气。
    （3）双齿条结构角行程执行机构
    双齿条结构角行程执行机构的活塞背面密封圈漏气，气缸盖与缸体密封圈漏气，输出轴与缸体连接的上下支撑密封圈漏气，气缸盖上的限位螺钉漏气。
    （4）外部附件
    外部附件如各定位器输出管线接头漏气，气控增速器或继动器、快排阀、单向调速器和保位阀漏气。
    2.2漏气处理