由于真空紫外及软X-RAY 与可见光及红外波段在很多光学传输性质上的不同，比如，需要真空环境，很低的反射率，无合适的“透明”折射率材料，成像困难，与物质相互作用时，表现出高能粒子的特性，少有衍射 等等。 由于其以上的种种特性，在其光谱仪的设计上，一般需要遵循尽量减少光路中的反射元件，以及采取掠入射等原则。