波长色散X射线荧光光谱仪是利用原级X射线或其他光子源激发待测物质中的原子，使之产生荧光（次级X射线），从而进行物质成分分析的仪器，主要用于化学、材料科学、化学工程领域。

 

波长色散X射线荧光光谱仪的原理：

 

XRF是基于X射线的一种分析手段，当一束高能粒子与原子相互作用时，如果其能量大于或等于原子某一轨道电子的结合能，将该轨道电子逐出，形成一个空穴使原子处于激发态，由于激发态不稳定，外层电子向空穴跃迁使原子恢复到平衡态，跃迁时释放出的能量以辐射的形式放出便产生X荧光。X荧光具有特征的波长，对应的即是特征的能量，通过对光子的特征波长进行辨识，XRF能实现对元素的定性分析，通过探测特征波长的X射线光子的强度，实现元素的定量和半定量分析。

 

具有以下优点：

 

1、分析速度高。测定用的时间与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。

 

2、X射线荧光光谱仪跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。

 

3、非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

 

4、X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

 

5、分析精密度高。

 

6、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。