探针台-测试设备(Analytical Probe Station)
仪器特点
1、同轴驱动台面
2、RF射频探针升级
3、20 – 4000倍的放大
4、后座自由的运动
5、载物台快速升降
6、晶圆取放简单
7、压盘上下精细调节
8、探针卡尖超速传动调节
探针台-测试设备(Analytical Probe Station)
仪器规格
真空载物台： 4/6/8/12英寸不锈钢
载物台Theta: 0 – 30度转动
压盘上下粗调：6毫米范围内控制杆调整
压盘上下微调：25毫米手动轮子调整
压盘：12微控定位器
显微镜台：1英寸x1英寸移动
真空泵：7升/分钟，-250mmHg
尺寸：780毫米长x660毫米宽x700毫米高
重量：80Kg
附件
低电流、低电容探针
RF探针、电缆
主动探针
超声切割
PCB夹具、镀金载物台
热台、冷却系统
防震台、屏蔽罩、黑箱
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