类型 8626

气体质量流量控制器 (MFC)

• 标称流量范围从 20 lN/min 至zui高 1500 lN/min
• 测量精度和重复性高
• 调控速度快
• 防护等级 IP65
• 选配：现场总线接口

  

  类型 8710

  气体质量流量控制器 (MFC)

• 标称流量范围从 0.005 lN/min 至 15 lN/min
• 测量精度和重复性高
• 适用于腐蚀性气体
• 选配：现场总线接口

  

  类型 8711

  气体质量流量控制器 (MFC)

• 标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 测量精度和重复性高
• 调控速度特别快
• 选配：现场总线接口

  

  类型 8712

  气体质量流量控制器 (MFC)

• 标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 测量精度和重复性高
• 调控速度特别快
• 防护等级 IP65
• 选配：现场总线接口

  

  类型 8713

  气体质量流量控制器 (MFC)

• 标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
• 测量精度和重复性高
• 调控速度特别快
• 通过 RS485 进行数字通信
• 紧凑型版本

  

  类型 8715

  气体质量流量调节器 (Mass Flow Controller)

• 采用毛细管技术的旁通仪器，适合额定流量范围 5 mlN/min 至 15 lN/min
• 适合侵蚀性气体
• 紧凑型版本和数字通讯

  

  类型 8741

  适用于气体的质量流量调节器 (MFC)/质量流量计 (MFM)

   筛选器

• 采用 MEMS 技术直接测量流量
• 测量和重复精度高
• 反应时间非常之短
• 现场总线通信基于 CANopen