测量范围

mbar (Torr)

1.0 x 10-8 至 5 x 10-3 (0.75 x 10-8 至 3.75 x 10-3)

1.0 x 10-8 至 6.7 x 10-3 (0.75 x 10-8 至 5.0 x 10-3) [RS 232/EtherCAT]

测量不确定性 1)

mbar

1 x 10-8 至 1 x 10-3 ±30 % 测量值

测量重复性 1)

mbar

1 x 10-8 至 1 x 10-3 ±30 % 测量值

变 送 器 测量原理

冷阴极电离规

电源电压

V DC

9 - 30

功耗

W

< 2

电气连接

FCC68 / RJ 45 [EtherCAT: RS 232]

信号输出

Vout = 1.33 x log 10 (Pmbar) + 12.66

V DC

2.0 至 9.6

分辨率

bit

16

阻抗

Ω

100

刷新率

Hz

16

数字接口

RS 232, EtherCAT

设定点

调节范围 mbar (Torr)

继电器

继电器触点容量

继电器触点大阻值 mΩ

继电器触点短寿命

1.0 A@ 30  V DC load

0.2 A@ 30  V DC load

N/A / 1 x 10-8 至 5 x 10-3 (0.75 x 10-8 至 3.75 x 10-3) [RS 232]

0 / 3 [RS 232) / 2 [EtherCAT]

N/A / 1 A @ 30 V AC/DC,电阻负载 [RS 232] N/A / 100 [RS 232]

N/A / 100 000 [RS 232]

N/A / 2 000 000 [RS 232]

状态指示器

LED- 环 (360°)

大电缆长度

m

100

过压范围

bar

2

运行温度范围

°C (°F)

0 至 40 (32至 104)

储存温度范围

°C (°F)

-20 至 +65 (-4 至 149)

高烘烤温度 (非运行状态)

°C (°F)

85 (185)

大相对湿度

% n.c.

0 - 95

安装方向

任意角度

与工艺气体接触的材料

304 不锈钢, 403 不锈钢, 陶瓷, 氟橡胶®, 钛, 低释气率环氧树脂

封闭空间 (DN 25 ISO-KF), 近似.

cm3

25.6

重量 (DN 25 ISO-KF)

g

318

防护等级

IP

40

CE 认证

EMC 指令 2004/108/EC