影像测量仪的测量是单轴、二维平面的测量、三维空间坐标的测量。测量时先对焦取点最后计算处理。对焦对准依靠光学系统，读数来自于标尺即光栅系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源，因为如果被测件不能被有效正确的照明的影像方法的测量的仪器，则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外，制约测量精度不可忽视的因素也包括环境条件。于上述分析,可以归纳出以下几个方面的误差来源：

1）光栅计数尺的误差；

2）直线度、角摆在工作台移动时带来的误差；

3）工作台两测量轴垂直度带来的误差；

4）工作台面与显微镜光轴不垂直带来的误差；

5）偏离校准要求的参考温度的测量室温度带来的误差；

6）光源照明条件的变化带来的对准和对焦误差。

在这几种因素中，前四项误差在仪器制造过程中已经形成并固定下来，一般无法改变，是硬件误差。必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小温度影响带来的误差。在实际测量中最后一项则常被忽视，被测工件的影像质量和照明效果直接受到光源照明条件改变的影响，主要是因为影像测量仪的图像是通过具有自动调节增益的功能CCD接收，但当亮度过大时则会失去调节功能，导致被测工件影像缩小，当亮度过低时，工件影像反而变大。所以只要注意整个测量过程中照明条件保持不变，其影响可以忽略，因为每个重复图形结构都同时在变大或变小，影像变形的影响被间距的测量计算直接消除了；除了这种特殊情形外,如测量工件的长度、圆的直径和宽度，都将带来明显的误差。