首先是测量前的准备。要确保测量仪处于稳定的工作环境，温度、湿度要符合要求，避免环境因素影响。

测量精度。选择合适的测头和测针，根据零件的形状、尺寸和精度要求来确定，比如测量复杂曲面可能需要特殊形状的测针。对测量仪进行校准，包括检查坐标系统是否准确，用标准球等工具校准测量精度。

然后是零件的安装与定位。将被测量的零件稳固地放置在测量工作台上，可以使用夹具辅助定位，确保零件在测量过程中不会发生位移。确定零件在测量仪坐标系中的位置，这是准确测量的基础，一般可以通过找正零件的基准面或者基准孔来实现。

接着是测量程序的编制。根据零件的图纸和尺寸要求，在测量软件中编制测量路径和测量点。对于简单的几何形状，如平面、圆柱，可以直接定义测量元素和相应的测量点数；对于复杂的形状，可能需要更多的测量点来精确描述轮廓，比如复杂的自由曲面，就需要密集的测量点来反映其形状精度。

在测量过程中，要控制测量速度，速度太快可能导致测量数据不准确。让测头按照编制好的程序对零件进行逐点测量，系统会自动记录每个测量点的坐标数据。

最后是数据分析。测量完成后，软件会根据测量点的数据计算出零件各个几何元素的尺寸、形状和位置偏差。通过与设计图纸的要求对比，就可以判断零件是否合格。例如，测量一个轴的直径，软件会给出实测直径值，以及它与设计直径的偏差值，偏差在公差范围内即为合格。