气控阀

化学液体用气控阀

型号

AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R

化学液体用气控阀的新标准型。

适用于各种压力、温度、流体条件的gao端产品。

可将过去细分用途的机型统一。

行业

半导体制造工序（前工序）

化学液体供给设备用元件

产品特点：

【扩大使用压力范围】

通过采用新密封结构，扩大使用压力范围。

A、B口的使用压力实现通用化。

【酸碱适用】

执行器采用耐化学药品性优异的氟树脂“PVDF”，标准型应用非常广泛，酸碱同样适用。

【扩大流体温度范围】

大幅扩大标准品的使用流体温度范围（Max. 120℃）。

可选择带传感器的类型，通过信号确认阀的开闭情况。

【3种安装方法】

除传统的法兰安装、底面安装外，还增加了4螺孔法兰安装。

化学液体用气控阀的标准型。

成形品连接选择项丰富的系列。

集成阀也备有两种可选。

行业

半导体制造工序（前工序）

【连接选择项丰富】（AMD※※2、AMG※※2、GAMD※※2系列）

树脂阀体：SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc, 聚氯乙烯活接头

SUS阀体：Rc, SUS伸出管, 双卡套

【可供应混合集成阀】（GAMD0※2A系列）

GAMD0※2A系列通过采用分割阀体结构，能以短交货期供应混合集成阀。

标准品可选择接头尺寸和接头方向、搭载的执行器（动作分类、选择项等）等。